Физические и физико-химические основы ионной имплантации, IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г., Тез. докл.
98-3/8478 [98-30210]/русский/Физические и физико-химические основы ионной имплантации : IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г. : Тез. докл.Физические и физико-химические основы ионной имплантации : IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г. : Тез. докл.Физические и физико-химические основы ионной имплантации : IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г. : Тез. докл.Н. Новгород/ННГУ/, 1998 ( ). - ННГУ, 1998. - 117 с. ; 20 см.Физические и физико-химические основы ионной имплантации : IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г. : Тез. докл. Н. Новгород, 1998 .
В надзаг.: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Науч.-исслед. ин-т измер. систем им. Ю. Е. Седакова, Рос. фонд фундам. исслед. - На тит. л.: 80 лет ННГУ. - На тит. л.: Федер. целевая программа "Гос. поддержка интеграции высш. образования и фундам. науки на 1997-2000 гг.". - Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл.Ионная имплантация -- Съезды, совещания и т.п./55/34.5/В373.1я431/
В надзаг.: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Науч.-исслед. ин-т измер. систем им. Ю. Е. Седакова, Рос. фонд фундам. исслед. - На тит. л.: 80 лет ННГУ. - На тит. л.: Федер. целевая программа "Гос. поддержка интеграции высш. образования и фундам. науки на 1997-2000 гг.". - Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл.Ионная имплантация -- Съезды, совещания и т.п./55/34.5/В373.1я431/