Физико-технологические основы микроэлектроники, Сб. науч. тр.
86-4/3255 русский (rus)/Физико-технологические основы микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Ташк. политехн. ин-т Абу Райхана Беруни ; [Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др.].Физико-технологические основы микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Ташк. политехн. ин-т Абу Райхана Беруни.Физико-технологические основы микроэлектроники : Сб. науч. тр.Ташкент/ТашПИ/, 1985 ( ). - ТашПИ, 1985. - 96 с. : ил. ; 20 см.Физико-технологические основы микроэлектроники : Сб. науч. тр. Ташкент, 1985 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Ташкентский политехнический ин-т им. А. Беруни /
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Ташкентский политехнический ин-т им. А. Беруни /