Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса
русский/Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К.А. Валиев, Б.Н. Ковтун, Т.М. Махвиладзе.Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К.А. Валиев, Б.Н. Ковтун, Т.М. Махвиладзе.Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса.М./Б. и./, 1987 ( ). - Б. и., 1987. - 30 с. : граф. ; 21 см. - (Препринт / АН СССР. Ин-т общ. физики. Отд. микроэлектроники ; № 209).Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса. М., 1987 .
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.