Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур
89-4/3962 русский (rus)/Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур / Зилинг К.К., Солдатенков И.С., Терпугов Н.В.Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур / Зилинг К.К., Солдатенков И.С., Терпугов Н.В.Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур.Новосибирск/Ин-т физики полупроводников/, 1988 ( ). - Ин-т физики полупроводников, 1988. - [1], 25 с. : ил. ; 19 см. - (Препринт / АН СССР. Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; № 28).Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур. Новосибирск, 1988 .
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.