Источники излучения для рентгеновской литографии, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.)
П51/94 русский/Источники излучения для рентгеновской литографии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.) / С.А. Иванов, С.В. Кириенко, Г.А. Щукин.Источники излучения для рентгеновской литографии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.) / С.А. Иванов, С.В. Кириенко, Г.А. Щукин.Источники излучения для рентгеновской литографии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.).М./Изд-во ЦНИИ "Электроника"/, 1988 ( ). - Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1988. - 34 с. : ил. ; 21 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 1372 ; Вып. 3).Источники излучения для рентгеновской литографии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.). М., 1988 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 30-34. Библиогр.: с. 30-34.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 30-34. Библиогр.: с. 30-34.