Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах, (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.)
русский/Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.).Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.).Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.).М./Изд-во ЦНИИ "Электроника"/, 1983 ( ). - Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1983. - 39 с. : ил. ; 21 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 979 ; Вып. 5).Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1957-1982 гг.). М., 1983 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 33-39. Библиогр.: с. 33-39.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 33-39. Библиогр.: с. 33-39.