Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении, (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.)
П51/94 русский (rus)/Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.) / А.С. Адонин, А.Н. Василищев, Л.С. Гарба, Л.Н. Михайлов.Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.) / А.С. Адонин, А.Н. Василищев, Л.С. Гарба, Л.Н. Михайлов.Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.).М./ЦНИИ "Электроника"/, 1983 ( ). - ЦНИИ "Электроника", 1983. - 52 с. : ил. ; 20 см. - (Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника" ; Вып. 962 ; Вып. 7).Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.). М., 1983 .
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 49-52. Библиогр.: с. 49-52.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. - Библиогр.: с. 49-52. Библиогр.: с. 49-52.