Взаимодействие газов с твердыми телами, (Поглощение и выделение газов твердыми телами), Конспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение
76-4/11169 [Рг4171а-76]/[76-1259]/русский (rus)/Взаимодействие газов с твердыми телами : (Поглощение и выделение газов твердыми телами) : Конспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение / М-во высш. и сред. спец. образ. РСФСР. Уральск. политехн. ин-т. им. С.М. Кирова.Взаимодействие газов с твердыми телами : (Поглощение и выделение газов твердыми телами) : Конспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение / М-во высш. и сред. спец. образ. РСФСР. Уральск. политехн. ин-т. им. С.М. Кирова.Взаимодействие газов с твердыми телами : (Поглощение и выделение газов твердыми телами) : Конспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение.Свердловск/Б. и./, 1975 ( ). - Б. и., 1975. - 25 с. : ил. ; 22 см.Взаимодействие газов с твердыми телами : (Поглощение и выделение газов твердыми телами) : Конспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение. Свердловск, 1975 .
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.
Библиогр.: с. 25. Библиогр.: с. 25.