Оборудование для ионно-плазменной обработки
[П1280-74]/русский/Оборудование для ионно-плазменной обработки / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Оборудование для ионно-плазменной обработки / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Оборудование для ионно-плазменной обработки.Москва/Б. и./, 1974 ( ). - Б. и., 1974. - 84 с. : ил. ; 28 см. - (Электронная промышленность ; № 5 (29)).Оборудование для ионно-плазменной обработки. Москва, 1974 .
Описано по обл. На тит. л. только загл. серии.
Описано по обл. На тит. л. только загл. серии.