Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии, учебное пособие
2009-4/4385 [2009-3028]/русский (rus)/Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии : учебное пособие / В.И. Чепурнов, В.А. Покоева, К.П. Сивакова ; Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Сам. гос. ун-т", Каф. электроники твердого тела.Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии : учебное пособие / В.И. Чепурнов, В.А. Покоева, К.П. Сивакова.Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии : учебное пособие.Самара/Самарский университет/, 2008 ( ). - Самарский университет, 2008. - 45 с. : ил. ; 21 см.Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии : учебное пособие. Самара, 2008 .
Библиогр.: с. 45 (16 назв.). Библиогр.: с. 45 (16 назв.).Полупроводники -- Диффузия -- Учебные издания для высших учебных заведений/В379.256я73-1/
Библиогр.: с. 45 (16 назв.). Библиогр.: с. 45 (16 назв.).Полупроводники -- Диффузия -- Учебные издания для высших учебных заведений/В379.256я73-1/