Инженерные основы пленочной микроэлектроники
68-3/2113 [[68-19255]]/русский (rus)/Инженерные основы пленочной микроэлектроники .Инженерные основы пленочной микроэлектроники.Инженерные основы пленочной микроэлектроники.Ленинград/Энергия. Ленингр. отд-ние/, 1968 ( ). - Энергия. Ленингр. отд-ние, 1968. - 174 с., 1 л. граф. : ил. ; 20 см.Инженерные основы пленочной микроэлектроники. Ленинград, 1968 .
Библиогр.: с. 168-173. Библиогр.: с. 168-173.
Библиогр.: с. 168-173. Библиогр.: с. 168-173.