Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях
2010-4/10368 2010-4/10368 - 80 экз.5-87911-095-8/[2010-48483]/русский/Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский.Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский.Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях.Санкт-Петербург/ФГУП "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры"/, 2009 ( ). - ФГУП "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры", 2009. - 62 с. : ил. ; 21 см. - (Обзор / Госкорпорация "Росатом", Федер. гос. унитар. предприятие "НИИ электрофиз. аппаратуры им. Д. В. Ефремова" ; О-104).Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях. Санкт-Петербург, 2009 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 57-62. Библиогр.: с. 57-62.Материалы -- Плазменная обработка/Ионная имплантация/З844.1-060.7-1с3,0/Ж624/В373.1/
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 57-62. Библиогр.: с. 57-62.Материалы -- Плазменная обработка/Ионная имплантация/З844.1-060.7-1с3,0/Ж624/В373.1/