Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка

Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме

[[61-80413]]/русский/Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме / Переводчик Шереметьева И.Л. ; ГлавНИИ при Госэкономсовете СССР. Гос. науч.-исслед. и проектный ин-т редкометал. пром-сти "Гиредмет".Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме / Переводчик Шереметьева И.Л.Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме.[Москва/Отд. науч.-техн. информации]/, 1961 [обл. 1960] ( ). - Отд. науч.-техн. информации], 1961 [обл. 1960]. - 31 с. : ил. ; 20 см. - (Перевод ; № 11 (99)).Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме. [Москва, 1961 [обл. 1960] .
     Перед загл. авт.: Ф. Аллен, Дж. Эйзингер, Х. Хагструм, Дж. Лоу. - Статья из "J. of applied physics", 1959, v. 30, № 10. - Библиогр.: с. 31 (20 назв.). Библиогр.: с. 31 (20 назв.).Кремний -- Очистка поверхности -- Иностранный опыт/psbo/Хагструм /Лоу /Эйзингер /Аллен /Шереметьева, Переводчик /