Эллипсометрия в микроэлектронике
83-3/11583 русский/Эллипсометрия в микроэлектронике .Эллипсометрия в микроэлектронике.Эллипсометрия в микроэлектронике.М./Радио и связь/, 1983 ( ). - Радио и связь, 1983. - 120 с. : ил. ; 20 см.Эллипсометрия в микроэлектронике. М., 1983 .
Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.). Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.).
Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.). Библиогр.: с. 118-120 (64 назв.).