Подробности
| 000 -МАРКЕР |
|---|
| контрольное поле |
01817nam0a2200361 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ |
|---|
| контрольное поле |
RU\NLR\bibl\480039 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ |
|---|
| контрольное поле |
20250623192436.0 |
| 021 ## - НОМЕР ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ |
|---|
| Код страны |
российская федерация |
| Номер |
2003-62037 |
| Номер Листа государственной регистраци |
3042 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА |
|---|
| Идентификатор записи |
(NLR Aleph) 000472976 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ |
|---|
| Данные общей обработки |
20040115d2003 |||y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА |
|---|
| Язык текста, звукозаписи и т.д. |
русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА |
|---|
| Страна публикации |
российская федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ |
|---|
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе |
a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ |
|---|
| Основное заглавие |
Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте |
| Первые сведения об ответственности |
Силаков М.В., Бабушкин Г.А., Валиев К.А. и др. |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. |
|---|
| Место издания, распространения и т.д. |
М. |
| Имя издателя, распространителя и т. д. |
МАКС Пресс |
| Дата издания, распространения и т.д. |
2003 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА |
|---|
| Специфическое обозначение материала и объем |
40 с. |
| Другие сведения о физической характеристике |
ил. |
| Размеры |
21 |
| 225 1# - СЕРИЯ |
|---|
| Основное заглавие серии |
Препринт |
| Сведения об ответственности |
Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук |
| Обозначение тома |
N 25 |
| 313 ## - ПРИМЕЧАНИЯ, ОТНОСЯЩИЕСЯ К ТЕМАТИЧЕСКОМУ ДОСТУПУ |
|---|
| Текст примечания |
тормозное рентгеновское изл. |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ |
|---|
| Текст примечания |
Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.) |
| 606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ |
|---|
| Наименование темы |
МОП-приборы |
| Тематический подзаголовок |
Производство |
| -- |
Применение электронной литографии |
| Код системы |
nlr-sh1 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи |
RU\NLR\auth\661386155 |
| 606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ |
|---|
| Наименование темы |
МОП-приборы |
| Тематический подзаголовок |
Электронные процессы |
| Код системы |
nlr-sh2 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи |
RU\NLR\auth\66720079 |
| 606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ |
|---|
| Наименование темы |
Резисты |
| Тематический подзаголовок |
Физические свойства |
| -- |
Влияние тормозного рентгеновского излучения |
| Код системы |
nlr-sh2 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи |
RU\NLR\auth\661386158 |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
З852.39-06 |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
З844.15-040.7-01 |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Силаков |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
М. В. |
| Код отношения |
Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Бабушкин |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
В. А. |
| Код отношения |
Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Валиев |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
К. А. |
| Код отношения |
Автор |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
российская федерация |
| Организация |
NLR |
| Дата составления |
20040115 |
| Правила каталогизации |
PSBO |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
российская федерация |
| Организация |
NLR |
| Дата составления |
20040115 |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) |
|---|
| Тип экземпляра АБИС |
Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ |
|---|
| Название коллекции |
Национальная библиография |