Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества (Запись № 838305)

Подробности
000 -МАРКЕР
контрольное поле 01900nam0a2200421 4500
001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ
контрольное поле RU\NLR\bibl\149214
005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ
контрольное поле 20250618050811.0
021 ## - НОМЕР ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ
Код страны Российская Федерация
Номер 2000-45946
Номер Листа государственной регистраци 2118
035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА
Идентификатор записи (NLR Aleph) 000146244
100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ
Данные общей обработки 20010320d2000 |||y0rusy50 ca
101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА
Язык текста, звукозаписи и т.д. русский
Язык резюме английский
102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА
Страна публикации Российская Федерация
105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ
Кодированные данные о монографическом текстовом документе a |||||||||
200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ
Основное заглавие Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества
Первые сведения об ответственности Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др.
210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР.
Место издания, распространения и т.д. М.
Имя издателя, распространителя и т. д. ИТЭФ
Дата издания, распространения и т.д. 2000
215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА
Специфическое обозначение материала и объем 19, [1] с.
Другие сведения о физической характеристике ил.
Размеры 21
225 1# - СЕРИЯ
Основное заглавие серии Препринт
Сведения об ответственности Ин-т теорет. и эксперим. физики
Обозначение тома 24-00
300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ
Текст примечания Рез. на англ. яз.
313 ## - ПРИМЕЧАНИЯ, ОТНОСЯЩИЕСЯ К ТЕМАТИЧЕСКОМУ ДОСТУПУ
Текст примечания производство ИС
320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ
Текст примечания Библиогр.: с. 18-20
606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ
Наименование темы Кремний-диэлектрик, система
Тематический подзаголовок Производство
Системный номер авторитетной/нормативной записи 2203750
Идентификатор авторитетной/нормативной записи RU\NLR\auth\661324124
606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ
Наименование темы Кремниевые структуры
Тематический подзаголовок Производство
Системный номер авторитетной/нормативной записи 2203752
Идентификатор авторитетной/нормативной записи RU\NLR\auth\661324125
610 0# - НЕКОНТРОЛИРУЕМЫЕ ПРЕДМЕТНЫЕ ТЕРМИНЫ
Предметный термин Микроэлектронные схемы интегральные - производство
675 ## - УНИВЕРСАЛЬНАЯ ДЕСЯТИЧНАЯ КЛАССИФИКАЦИЯ (UDC/УДК)
Индекс 621.382.049.771.14.002.3:546.28
Издание 3
Язык издания rus
686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ
Индекс 47
Код системы
686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ
Индекс 32.844.1
Код системы
686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ
Индекс З852-06
686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ
Индекс З844.15-06
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Прокопьев
Расширение инициалов личного имени Евгений Петрович
Код отношения Автор
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Тимошенков
Часть имени, кроме начального элемента ввода С. П.
Даты 1957-
Расширение инициалов личного имени Сергей Петрович
Идентификатор авторитетной/нормативной записи RU\NLR\AUTH\770273920
Код отношения Автор
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Суворов
Расширение инициалов личного имени Александр Леонидович
Код отношения Автор
801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация RKP
Дата составления 20010320
Правила каталогизации PSBO
801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация RKP
Дата составления 20010320
801 #2 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация NLR
Дата составления 20010515
Правила каталогизации rcr
942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС)
Тип экземпляра АБИС Книга
980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ
Название коллекции Национальная библиография
Экземпляры
Тип экземпляра Дата поступления Источник поступления Библиотека постоянного хранения Библиотека текущего хранения Место хранения Шифр хранения Штрих-код Статус экземпляра
Книга 16.04.2001 Обязательный экземпляр РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года 2001-4/2337 116460  
Книга 16.04.2001 Обязательный экземпляр РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года 2001-4/2337 116461