Российская национальная библиография

Описание RUSMARC
  • Скупов В. Д. Владимир Дмитриевич

([200] ИМЯ ЛИЦА)

Канд. физ-мат. наук. Область науч. интересов: физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников..
Системный номер: 113801