([200] ИМЯ ЛИЦА)

Канд. техн. наук (1988), ведущий научный сотрудник лаборатории электронно-микроскопических исследований Московского института электронной техники. Научные исследования: плазмохимические и жидкостные процессы травления, оптическая микроскопия, препарирование и анализ ИС, анализ дефектов ИС..