([200] ИМЯ ЛИЦА)

Канд. физ.-мат. наук. Руководитель лаборатории ионно-лучевых технологий Физико-технологического института (ФТИАН) им. К.А. Валиева РАН Национального исследовательского центра "Курчатовский институт". Область научных интересов: применение ионно-лучевых методов для создания тонких пленок и микроструктур; диагностика пучков быстрых нейтральных частиц; исследование механизмов возбуждения эмиссионных линий в низкотемпературной технологической плазме низкого давления..