Нанотехнологии и микромеханика. Ч. 6: Базовые технологические процессы микросистемной техники
Сводное описание: Нанотехнологии и микромеханика : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Метрология и метрологическое обеспечение" направления подготовки "Метрология, стандартизация и сертификация"Язык: русский.Выходные данные: 2013Физическая характеристика: 64, [1] с. : ил.ISBN: 9785703837290 Библиография: Библиогр.: с. 63.Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Производство -- Физико-химические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З85-06я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 63