Обработка поверхности источниками атомов металла и быстрых молекул газа : монография / Ю. А. Мельник, А. С. Метель ; М-во образования и науки Российской Федерации, Федеральное гос. бюджетное образовательное учреждение высш. образования "Московский гос. технологический ун-т "СТАНКИН"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН", 2015Физическая характеристика: 198 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785702806785 Библиография: Библиогр.: с. 179-198 (238 назв.).Предметная рубрика - Тема: Металлы -- Ионно-плазменная обработка в вакууме | Металлы -- Поверхностные слои -- Влияние облучения ионами УДК: 669.0Другие классификации: К557 ; К209.1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 179-198 (238 назв.)