Методы исследования поверхности полупроводниковых материалов : учебное пособие по курсу "Методы исследования поверхности полупроводников" для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника" / В.А. Антонов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Научно-исследовательский университет "МЭИ"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МЭИ, 2017Физическая характеристика: 38 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785704617785 Библиография: Библиогр.: с. 38.Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Поверхностные явления -- Спектроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: ( rubbk ) З234.06-1с.я73-1 ; З843.306.3я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Представлены спектроскопические методы исследований поверхности полупроводников, применяемых в электронике
Библиогр.: с. 38