Нанотехнологии в микро- и наноэлектронике: получение, исследование, моделирование : учебное пособие; [для бакалавров, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", и магистров по направлению подготовки 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"] / Министерство образования и науки РФ, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) ; [И. А. Аверин и др.] ; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова
Язык: русский.Выходные данные: Пенза : Изд-во ПГУ, 2018Физическая характеристика: 77, [1] с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785907018990 Библиография: Библиогр. в конце кн. (16 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нанокристаллические материалы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Наноэлектроника -- Лабораторная практика -- Учебные издания для высших учебных заведений | Микроэлектроника -- Лабораторная практика -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: Ж366я73-5 ; З844.1я73-5 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце кн. (16 назв.)