Введение в физику и технологию планарных наноструктур : учебное пособие / И. В. Ершов, В. В. Илясов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет"
Язык: русский.Выходные данные: Ростов-на-Дону : ДГТУ, 2018Физическая характеристика: 99 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-7890-1539-1 Библиография: Библиогр.: с. 98 (10 назв.).Предметная рубрика - Тема: Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Физические основы | Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Получение | Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство Другие классификации: З844.1-01я73-1 ; З844.13-06я73-1Коллекция: НБР ; Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 98 (10 назв.)