Simulation of flow and deposition in vertical MoVPE reactors / Yu. N. Makarov, A. I. Zhmakin
Другие варианты заглавия: : Моделирование течения и осаждения в вертикальных газоэпитаксиальных реакторах, rusЯзык: английский.Выходные данные: L. : ФТИ, 1988Физическая характеристика: 59 с. : ил. ; 20 см см.Серия: Preprint ; 1248Примечания: На обороте тит. л.: Моделирование течения и осаждения в вертикальных газоэпитаксиальных реакторах / Ю. Н. Макаров, А. И. Жмакин; На обл. надзаг. на рус. яз.; Рез. на рус. яз..Библиография: Библиогр.: с. 58-59.Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые пленки -- Осаждение из газовой фазы Другие классификации: ( rubbk ) З843.324.410.8 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На обороте тит. л.: Моделирование течения и осаждения в вертикальных газоэпитаксиальных реакторах / Ю. Н. Макаров, А. И. Жмакин
На обл. надзаг. на рус. яз.
Рез. на рус. яз.
Библиогр.: с. 58-59