Подробности: Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников , Учеб. пособие , [Для студентов вузов, обучающихся по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электр. техники", "Прикл. физики и микроэлектроника", "Физика полупроводников и диэлектриков"]

Книга

Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников : Учеб. пособие; [Для студентов вузов, обучающихся по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электр. техники", "Прикл. физики и микроэлектроника", "Физика полупроводников и диэлектриков"] / В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегород. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского

Автор: Перевощиков, Виктор Александрович -- АвторАвтор (Альтер.): Скупов, Владимир Дмитриевич -- АвторЯзык: русский.Выходные данные: Н.Новгород : Изд-во ННГУ, 1997Физическая характеристика: 253 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-230-03812-8 Примечания: На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А., д.х.н., Скупов В.Д., к.ф.-м.н..Библиография: Библиогр.: с. 245-246; Др. произведения авт. на 4-й с. обл..Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Производство -- Физико-химические основы -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Полупроводники -- Производство -- Физико-химические основы -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З843.308-1я73-1 Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж	98-3/1803 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		4379-10

На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А., д.х.н., Скупов В.Д., к.ф.-м.н.

Библиогр.: с. 245-246

Др. произведения авт. на 4-й с. обл.