Некоторые аспекты физики и технологии получения тонких пленок, в том числе с применением излучения непрерывного СО₂-лазера / Николай Поздняк
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во Политехнического университета, 2015Физическая характеристика: 106 с. : ил., цв. ил., факс. ; 29 см.ISBN: 9785742250425 Библиография: Библиогр.: с. 101-105 (88 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Физические свойства | Тонкие пленки -- Получение -- Лазерные методы УДК: 62Другие классификации: З844.13-060.7-198 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 101-105 (88 назв.)