Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Книга

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. д.т.н., проф. С. П. Тимошенкова

Автор: Галперин, Вячеслав Александрович -- АвторАвтор (Альтер.): Данилкин, Евгений Владимирович -- Автор;Мочалов, Алексей Иванович -- АвторЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010Физическая характеристика: 283 с. : ил., табл. ; 22 см.ISBN: 978-5-9963-0032-7 Библиография: Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Плазмохимические методы -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: плазменное травление | нанотехнологии Другие классификации: ( rubbk ) З844.15-060.14,0 ; З844.15-060.7я73-1 Тип экземпляра: Книга
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Экземпляры
Тип экземпляра Текущая библиотека Шифр хранения Кол-во копий Статус Срок возврата Штрих-код
Книга РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике Т1 З844.1/Г-167 (Просмотр полки(Открывается ниже)) Доступно 1-278346
Книга РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж 2010-5/9928 (Просмотр полки(Открывается ниже)) 5212 Доступно 3292927
Книга РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж 2010-5/9928 (Просмотр полки(Открывается ниже)) 5212 Доступно 3292928

Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.)