Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. д.т.н., проф. С. П. Тимошенкова
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010Физическая характеристика: 283 с. : ил., табл. ; 22 см.ISBN: 978-5-9963-0032-7 Библиография: Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Плазмохимические методы -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: плазменное травление | нанотехнологии Другие классификации: ( rubbk ) З844.15-060.14,0 ; З844.15-060.7я73-1 Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/Г-167 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-278346 | |||
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-5/9928 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5212 | Доступно | 3292927 | ||
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-5/9928 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5212 | Доступно | 3292928 |
Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.)