Методы и средства контроля процессов и структур in situ. Ч. 1
Сводное описание: Методы и средства контроля процессов и структур in situ : учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч.Язык: русский.Выходные данные: 2014Физическая характеристика: 199, [1] с. : ил.ISBN: 9785292042891 Библиография: Библиогр. в конце разд.. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце разд.