Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие; [для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника"] / И.А. Хорин
Язык: русский.Выходные данные: Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018Физическая характеристика: 275, [1] с. : ил., табл., цв. ил. ; 21 см.ISBN: 9785448602108 Серия: Университетский учебник Примечания: На тит. л.: Победитель I конкурса публ. "Университет. учеб. - 2017".Библиография: Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы полупроводниковые -- Производство -- Технологические процессы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.15-06я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На тит. л.: Победитель I конкурса публ. "Университет. учеб. - 2017"
Получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, термические отжиги, сборка микросхем
Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.)