Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие; [по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 (Электроника и наноэлектроника), 28.03.01 и 28.04.01 (Нанотехнологии и микросистемная техника), 11.06.01 "Электроника, радиотехника и системы связи"] / В. Ю. Васильев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники]
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2019Физическая характеристика: 105, [1] с. : ил., табл. ; 21 см см.ISBN: 9785778239159 Библиография: Библиогр.: с. 99-103 и в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-060.7я73-1 ; З843.08я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 99-103 и в конце гл.