Пленки оксинитридов : [монография / Е. А. Минжулина, А. А. Козин, В. В. Смирнов, В. И. Шаповалов] ; под редакцией В. И. Шаповалова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2018Физическая характеристика: 179 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785762923880 Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л..Библиография: Библиогр.: с. 150-176 (500 назв.).Предметная рубрика - Тема: Оксинитриды переходных металлов -- Тонкие пленки -- Получение Неконтролируемые предметные термины: оксинитридные пленки | оксинитридные покрытия | неорганические пленки | неорганические покрытия Другие классификации: З843.408-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 150-176 (500 назв.)