Физико-химические основы технологии микроэлектроники : учебное пособие; [для студентов 5 курса, обучающихся по образовательной программе магистратуры 551600 "Материаловедение и технология новых материалов" по очной форме обучения] / Евгеньев С.Б. ; Федер. агентство по образованию, Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В. Ломоносова, Каф. материалов микро-опто- и наноэлектроники
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Московская государственная академия тонкой химической технологии, 2008Физическая характеристика: 21 см.Предметная рубрика - Тема: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Физико-химические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-06я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи