Вакуумное оборудование напыления тонких пленок : учебное пособие; для обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / А. Н. Головяшкин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ)
Язык: русский.Выходные данные: Пенза : Изд-во ПГУ, 2021Физическая характеристика: 73, [2] с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-907456-21-1 Резюме или реферат: Рассмотрены основные функциональные элементы вакуумных установок, средств откачки и контроля вакуума, методы контроля толщины тонких пленок и принцип работы промышленных вакуумных установок. Представлено описание лабораторных работ по каждому изучаемому разделу. Приведены необходимые справочные данные для проведения расчетов, обработки экспериментальных результатов и зависимостей. Даны рекомендации по оформлению отчета. Издание подготовлено на кафедре <Нано- и микроэлектроника> Пензенского государственного университета и предназначено для обучающихся по направлению подготовки <Электроника и наноэлектроника>, <Нанотехнологии и микросистемная техника>, а также других направлений, образовательные программы которых предусматривают изучение тонкопленочной технологии.Библиография: Библиогр. в конце кн. (5 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Нанесение распылением в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведенийУДК: 621.384(075.8), 4Другие классификации: ( ) 32.86я73 ; З844.13-060.7я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-4/5005 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1533 | Доступно | 1-3867816 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-4/5005 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-1533 | Доступно | 1-3867817 |
Библиогр. в конце кн. (5 назв.)
Рассмотрены основные функциональные элементы вакуумных установок, средств откачки и контроля вакуума, методы контроля толщины тонких пленок и принцип работы промышленных вакуумных установок. Представлено описание лабораторных работ по каждому изучаемому разделу. Приведены необходимые справочные данные для проведения расчетов, обработки экспериментальных результатов и зависимостей. Даны рекомендации по оформлению отчета. Издание подготовлено на кафедре <Нано- и микроэлектроника> Пензенского государственного университета и предназначено для обучающихся по направлению подготовки <Электроника и наноэлектроника>, <Нанотехнологии и микросистемная техника>, а также других направлений, образовательные программы которых предусматривают изучение тонкопленочной технологии