Современные технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Т.И. Данилина, И.А. Чистоедова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Язык: русский.Выходные данные: Томск : Изд-во ТУСУРа, 2020Физическая характеристика: 339, [1] с. : ил., цв. ил. ; 20 см.ISBN: 9785868899034 Серия: Серия Учебное издание ТУСУРа Библиография: Библиогр.: с. 334-337 (47 назв.).Предметная рубрика - Тема: Сверхбольшие интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений | Полевые транзисторы наноэлектронные трехмерные -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.15-06я73-1 ; З852.39-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Рассмотрены технологии производства СБИС и трехмерного нанотранзистора FinFET.
Библиогр.: с. 334-337 (47 назв.)