Технологические методы производства полупроводниковых структур : учебное пособие по курсу "Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем" для студентов, обучающихся по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МЭИ"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МЭИ, 2022Физическая характеристика: 62 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 978-5-7046-2687-9 Резюме: В пособии представлены технологические методы производства полупроводниковых приборов и интегральных схем, этапы развития электроники и микроэлектроники. Рассмотрены основные особенности технологических методов производства, их практические возможности при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных структур. Даны характеристики основных полупроводниковых материалов, используемых в изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника".Библиография: Библиогр.: с. 62 (5 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы полупроводниковые -- Производство -- Технологические процессы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Полупроводниковые приборы -- Производство -- Технологические процессы -- Учебные издания для высших учебных заведений УДК: 621.38(075.8), 4Другие классификации: ( rubbks ) 32.852я73 ; З852-06я73-1 ; З844.15-06я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-4/10989 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-7027 | Доступно | 1-4082748 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-4/10989 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-7027 | Доступно | 1-4082749 |
Библиогр.: с. 62 (5 назв.)
В пособии представлены технологические методы производства полупроводниковых приборов и интегральных схем, этапы развития электроники и микроэлектроники. Рассмотрены основные особенности технологических методов производства, их практические возможности при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных структур. Даны характеристики основных полупроводниковых материалов, используемых в изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника"