Физические основы и методы неразрушающего контроля полупроводников : учебное пособие; для студентов инженерно-физических и химико-технологических специальностей, в том числе обучающихся по направлению 10.03.04 "Электроника и наноэлектроника" / Е. А. Когновицкая, В. В. Кузнецов ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2022Физическая характеристика: 87 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 978-5-7629-3046-8 Резюме или реферат: Посвящено физическим основам и методам неразрушающего контроля полупроводниковых материалов. Представлены методы измерения химического состава и определения кристаллографической структуры полупроводников, а также различные способы исследования морфологии поверхности с использованием возможностей оптической, рентгеновской и электронной микроскопии. Предназначено для студентов инженерно-физических и химико-технологических специальностей, в том числе обучающихся по направлению 10.03.04 "Электроника и наноэлектроника", также может быть полезно инженерно-техническим работникам этой сферы деятельности.Библиография: Библиогр.: с. 86.Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Физические свойства -- Учебные издания для высших учебных заведений | Полупроводники -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Параметры -- Измерение -- Неразрушающие методы Другие классификации: З843.306-1-7с.я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2022-4/11463 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-7645 | Доступно | 1-4095751 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2022-4/11463 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-7645 | Доступно | 1-4095747 |
Библиогр.: с. 86
Посвящено физическим основам и методам неразрушающего контроля полупроводниковых материалов. Представлены методы измерения химического состава и определения кристаллографической структуры полупроводников, а также различные способы исследования морфологии поверхности с использованием возможностей оптической, рентгеновской и электронной микроскопии. Предназначено для студентов инженерно-физических и химико-технологических специальностей, в том числе обучающихся по направлению 10.03.04 "Электроника и наноэлектроника", также может быть полезно инженерно-техническим работникам этой сферы деятельности