Проектирование элементов микро- и наносистем : учебное пособие / А. В. Корляков ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова-Ленина
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2022Физическая характеристика: 121 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7629-3093-2 Резюме: Рассматриваются методы расчета и проектирования элементов нано- и микросистемной техники. Для анализа и проектирования микросистем используется метод аналогий и аналитических оценок с учетом размерных эффектов. Рассмотрены основные подходы к расчету различных микромеханических, тепловых и акустических микросистем. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника", "Электроника и наноэлектроника", выполняющих курсовое проектирование, аспирантов, ориентированных на разработку элементов нано- и микросистемной техники.Предметная рубрика - Тема: Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений | Интегральные схемы -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений УДК: 621.382(075.8), 4Другие классификации: З844.1-02я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2023-3/1573 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-8198 | Доступно | 1-4157595 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2023-3/1573 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-8198 | Доступно | 1-4157596 |
Рассматриваются методы расчета и проектирования элементов нано- и микросистемной техники. Для анализа и проектирования микросистем используется метод аналогий и аналитических оценок с учетом размерных эффектов. Рассмотрены основные подходы к расчету различных микромеханических, тепловых и акустических микросистем. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника", "Электроника и наноэлектроника", выполняющих курсовое проектирование, аспирантов, ориентированных на разработку элементов нано- и микросистемной техники