Вестник Российского фонда фундаментальных исследований. 2023, № 2 (118) [темат. вып.]: Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем
Сводное описание: Вестник Российского фонда фундаментальных исследований / Рос. фонд фундам. исслед.Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 2023Предметная рубрика - Тема: Сверхбольшие интегральные схемы -- Сборники -- Металлизация Другие классификации: З844.15-060.7я43Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи