Измерения и контроль в нано- и микроэлектронике : учебное пособие / А. Ю. Доросинский ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ)
Язык: русский.Выходные данные: Пенза : Изд-во ПГУ, 2021Физическая характеристика: 166, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-907456-46-4 Резюме: Приведены методы и средства контроля производственных процессов создания изделий нано- и микроэлектроники с целью обеспечения качества. Рассматриваются вопросы, касающиеся выполнения контрольно-измерительных операций в рамках технологии производства интегральных микросхем и оценки их электрических параметров. Изложены аспекты применения последних достижений электронной и сканирующей зондовой микроскопии при изучении нано- и микроструктур. Излагаются физико-технические способы неразрушающей оценки качества тонкопленочных резисторов.Библиография: Библиогр. в конце кн. (55 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Контроль -- Учебные издания для высших учебных заведений | Интегральные схемы -- Производство -- Технический контроль -- Учебные издания для высших учебных заведений УДК: 621.386(075.8), 4Другие классификации: З844.15-07я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-3/11063 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-108 | Доступно | 1-3779153 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2022-3/11063 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-108 | Доступно | 1-3779154 |
Библиогр. в конце кн. (55 назв.)
Приведены методы и средства контроля производственных процессов создания изделий нано- и микроэлектроники с целью обеспечения качества. Рассматриваются вопросы, касающиеся выполнения контрольно-измерительных операций в рамках технологии производства интегральных микросхем и оценки их электрических параметров. Изложены аспекты применения последних достижений электронной и сканирующей зондовой микроскопии при изучении нано- и микроструктур. Излагаются физико-технические способы неразрушающей оценки качества тонкопленочных резисторов