Физико-химическая модель оксидирования полупроводников и металлов / И.Н. Назаренко ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Воронеж. гос. технолог. акад.
Язык: русский.Выходные данные: Воронеж : Воронеж. гос. технолог. акад., 1997Физическая характеристика: 73 c. : ил. ; 19 см.ISBN: 5-89448-033-7 Библиография: Библиогр.: с. 61-72.Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые пленки окисные -- Получение | Оксидирование -- Теория Другие классификации: З843.322.410.8-1 ; К663.31-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 99-4/2014 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 27269-10 |
Библиогр.: с. 61-72