Неоднородности слоев оксида кремния, осаждаемых из газовой фазы : [сборник] / В. Л. Евдокимов
16+ Язык: русский.Выходные данные: Москва : Книга-Мемуар, 2025Физическая характеристика: 225 с. : ил., цв. ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-6053168-4-8 Библиография: Библиогр. в конце ст. и в подстроч. примеч..Особенности распространения и использования: 16+.Предметная рубрика - Тема: Оксиды кремния -- Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы Другие классификации: З843.322.410.8-5 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр. в конце ст. и в подстроч. примеч.
16+