Рабочая станция нанолитографии "1540 XB CroosBeam" : учебно-методическое пособие / Г.С. Жданов ; С.-Петерб. гос. ун-т, Физ. фак., Каф. фотоники [и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : [б. и.], 2007Физическая характеристика: 67 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-98340-139-6 Серия: Приоритетные национальные проекты Примечания: В надзаг. также: Приоритет. нац. проект "Образование", Проект "Инновац. образоват. среда в класс. ун-те", Пилот. проект N°22 "Разраб. и внедрение инновац. образоват. прогр. "Прикл. математика и физика".Библиография: Библиогр.: с. 67 (9 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Применение электронной литографии -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений | "1540 XB CROSSBEAM", рабочая станция нанолитографии -- Учебно-методические пособия для высших учебных заведений Другие классификации: З844.15-06-5я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-4/15110 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4420 | Доступно | 3030771 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-4/15110 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4420 | Доступно | 3030772 |
В надзаг. также: Приоритет. нац. проект "Образование", Проект "Инновац. образоват. среда в класс. ун-те", Пилот. проект N°22 "Разраб. и внедрение инновац. образоват. прогр. "Прикл. математика и физика"
ИС
Библиогр.: с. 67 (9 назв.)