Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Физматлит, 2009Физическая характеристика: 216 с. : ил. ; 23 см.ISBN: 978-5-9221-1150-8 Библиография: Библиогр.: с. 205-216.Предметная рубрика - Тема: Наноструктуры -- Производство -- Плазмохимические методы | Тонкие пленки -- Нанесение напылением в вакууме | Интегральные схемы -- Производство -- Плазмохимические методы Другие классификации: ( rubbk ) З844.19-060.14-1,0 ; ( rubbk ) Ж624-1,0 ; З844.15-060.7 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/Я-890 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-317833 | |||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-5/591 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6099 | Доступно | 3088219 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-5/591 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6099 | Доступно | 3088220 | ||
| Книга | РНБ (Садовая) Универсальный читальный зал | У З844.15/Я-890 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-289965 |
производство ИС
Библиогр.: с. 205-216