Процессы микро- и нанотехнологии : учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по спец. 200100 "Микроэлектроника и твердот. электроника" и 202100 "Нанотехнология в электронике" / Т.И. Данилина, К.И. Смирнова, В.А. Илюшина, А.А. Величко ; Федер. агентство по образованию, Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники
Язык: русский.Выходные данные: Томск : Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2005, ОАО Изд-во Асинов.Физическая характеристика: 314,[1] с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5-86889-244-5 Библиография: Библиогр.: с. 310-313 (52 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные микросхемы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектронные схемы и приборы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы Другие классификации: ( rubbk ) З844.15-06я73-1 ; ( rubbk ) З844.19-06я73-1 ; З844.15-06я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2006-5/1035 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3734 | Доступно | 2110372 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2006-5/1035 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3734 | Доступно | 2110373 |
производство ИС
Библиогр.: с. 310-313 (52 назв.)