Формирование оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Радио и связь, 2009Физическая характеристика: 223 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 5-89776-011-X Библиография: Библиогр.: с. 189-207 (286 назв.).Предметная рубрика - Тема: Наноструктуры -- Производство -- Плазмохимические методы | Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Плазмохимические методы Неконтролируемые предметные термины: Физико-математические науки -- Физика -- Физика плазмы. Электронные и ионные явления -- Газоразрядная плазма -- Сильноточные разряды | высоковольтный газовый разряд Другие классификации: ( rubbk ) В333.31,0 ; З844.1-060.7 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-3/12694 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1178 | Доступно | 3154211 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2010-3/12694 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1178 | Доступно | 3154212 |
формирование микро- и наноструктуры
Библиогр.: с. 189-207 (286 назв.)