Методы литографии в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия"; учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / В.В. Макарчук, И.А. Родионов, Ю.Б. Цветков ; под ред. засл. деятеля науки РФ, чл.-корр. РАН, проф. В.А. Шахнова
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ, 2011Физическая характеристика: 175 с. : ил. ; 22 см.ISBN: 978-5-7038-3500-5; 978-5-7038-3509-8 Серия: Библиотека "Наноинженерия" ; кн. 9 . Комплект учебно-методических комплексов дисциплин по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети "Наноинженерия" Библиография: Библиогр.: с. 171 (10 назв.).Предметная рубрика - Тема: Сверхбольшие интегральные схемы -- Производство -- Применение литографии -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.15-06я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-5/7524 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4823 | Доступно | 3501655 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-5/7524 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4823 | Доступно | 3501656 |
Библиогр.: с. 171 (10 назв.)