Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Выпуск

Фото-, электроно-, рентгено - и лазерная литография в производстве интегральных микросхем / Р.А. Карпович

Автор: Карпович, Р.А. -- АвторСводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1976, Б. м.Серия: ; Вып.177 Тип экземпляра: Выпуск
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи