Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Техническая физика" / И.Б. Захарова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, С.-Петерб. гос. политехн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во Политехнического университета, 2010Физическая характеристика: 200 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 978-5-7422-3148-6 Серия: Приоритетные национальные проекты Примечания: В надзаг. также: Приоритет. нац. проект "Образование", Нац. исслед. ун-т.Библиография: Библиогр.: с. 190 (9 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Наноэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: полупроводниковая электроника | интегральные схемы - технология | планарная микротехнология | углеродные наноструктуры Другие классификации: ( rubbk ) З844.1-01я73-1 ; З844.1-01я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-3/33563 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5424 | Доступно | 3519331 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 2011-3/33563 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5424 | Доступно | 3519332 |
В надзаг. также: Приоритет. нац. проект "Образование", Нац. исслед. ун-т
Библиогр.: с. 190 (9 назв.)