Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Выпуск

Плазмохимическое травление в технологии ИС. [1] / Ю.И. Дикарев и др.

Автор: Дикарев, Ю.И. -- АвторСводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1978, Б. м. Тип экземпляра: Выпуск
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи